Fixassist探針線性調(diào)整裝置

眾所周知，探針組合系統(tǒng)的正確調(diào)整與否會(huì)給測(cè)量結(jié)果帶來(lái)很大的影響。常規(guī)情況下，目前很多客戶都是通過(guò)手動(dòng)調(diào)節(jié)來(lái)實(shí)現(xiàn)探針組合系統(tǒng)的調(diào)整，但往往通過(guò)目測(cè)（肉眼）來(lái)判斷角度是否水平或者垂直是不可靠的，始終牢記組裝過(guò)程的每一個(gè)錯(cuò)誤可能對(duì)您的測(cè)量結(jié)果的負(fù)面影響，這樣測(cè)量出來(lái)的結(jié)果也是不可靠的。現(xiàn)在我們Zeiss有專業(yè)的調(diào)整裝置來(lái)為您排憂解難。FixAssist 可以幫助您調(diào)節(jié)MT/VAST探針組中各個(gè)探針的相對(duì)位置。您可通過(guò)FixAssist 調(diào)整吸盤(pán)的旋轉(zhuǎn)角度和側(cè)向探針的角度。

你需要以下工具來(lái)實(shí)現(xiàn)探針結(jié)構(gòu)調(diào)整 :
直徑11 和20 毫米的鉤扳手
?11x100毫米規(guī)格的不銹鋼延長(zhǎng)桿（以保持和調(diào)整立方體）
1.5-4毫米規(guī)格的六角扳手
2.5毫米規(guī)格，2 Nm 扭矩的內(nèi)六角扳手（用于調(diào)整吸盤(pán)螺絲）

探針吸盤(pán)調(diào)整

擰松紅色夾緊螺絲，向外推動(dòng)打開(kāi)吸盤(pán)保持架.

插入吸盤(pán)，使槽口和標(biāo)記的圓柱銷對(duì)應(yīng)。標(biāo)記位置對(duì)應(yīng)于“-X”軸的方向

通過(guò)向內(nèi)移動(dòng)紅色擰緊螺絲緊固吸盤(pán)不要將螺絲擰的太緊以免損壞吸盤(pán)?，F(xiàn)在吸盤(pán)夾在一個(gè)固定的抵擋，而且總是可以精確地夾緊在這個(gè)位置

調(diào)整繞Z 軸的旋轉(zhuǎn)角

使用扭矩扳手
?擰松吸盤(pán)上端的三個(gè)擰緊螺絲.
?現(xiàn)在你可以水平旋轉(zhuǎn)整套探針系統(tǒng)

擰松頂端表盤(pán)上的黑色螺絲
通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)表盤(pán)調(diào)整繞Z 軸水平旋轉(zhuǎn)方向所需的角度。請(qǐng)務(wù)必檢查探針系統(tǒng)需要旋轉(zhuǎn)的方向。

垂直調(diào)整第二軸表盤(pán)上的棱鏡
打開(kāi)黃色擰緊螺絲用于水平導(dǎo)軌輕微橫滑移動(dòng)，然后擰緊（黃色螺絲）

測(cè)球靠上垂直棱鏡

如果已經(jīng)調(diào)整了第一角度，重新擰緊黑色螺絲，然后輕輕地?cái)Q緊吸盤(pán)上的三個(gè)螺絲，檢查測(cè)針是否依然在靠在棱鏡的中心，使用扭矩扳手?jǐn)Q緊吸盤(pán)上的三個(gè)螺絲

調(diào)整第二個(gè)角度

調(diào)整繞Z 軸旋轉(zhuǎn)的角度 固定測(cè)針在水平延長(zhǎng)桿的末端棱鏡載體插入定心輔助

擰松棱鏡載體的黃色螺絲，然后將其沿導(dǎo)軌進(jìn)行移動(dòng)

調(diào)整定心輔助到測(cè)針的相同高度
?將棱鏡載體往著測(cè)針?lè)较蜃屑?xì)推動(dòng)，直到測(cè)球精確的靠在中心位置
?擰緊垂直導(dǎo)軌的黃色螺絲
?現(xiàn)在棱鏡調(diào)整到正確的高度
?取下定心輔助和測(cè)針